특수 전자 가스 산업에서의 캐논 포장 적용

전자 산업은 오늘날의 기술 시대에 첨단 산업 발전에 없어서는 안 될 산업 동력입니다. 필요한 가스의 종류가 많고 품질 요구 사항이 까다롭기 때문에 전자 산업에서 사용되는 가스를 다른 가스 화학 분야와 구분하기 위해 일반적으로 특수 전자 가스라고 부릅니다.

주요 특수 전자 가스는 삼불화질소, 불화황, 삼불화질소, 삼염화붕소 등입니다.

플루오로포름으로도 알려진 삼불화질소(CHF3)는 상온에서 무색 무취이며 물, 에탄올, 아세톤에 용해되는 유기 화합물 기체로 녹는점은 -160°C, 끓는점은 -84°C입니다. 주로 소화기 및 저온 냉동의 원료로 사용됩니다.

무기 화합물의 안정한 가스 인 불화 황 (SF6), 상온에서 무색 및 불연성, 무취 및 무독성, 물, 에탄올 및 에테르에 약간 용해되며 밀도는 약 6입니다.0886kg / m3, 융점은 -50.8 ℃, 끓는점은 -63.8 ℃ (승화), 임계 온도는 45.6 ℃, 임계 압력은 3.76MPa로 비철 금속의 제련 및 주조 공정에서 큰 역할을 차지합니다. 또한 전자 및 전기 장비 등의 가스 절연에도 사용할 수 있습니다.

무기 화합물 가스인 삼불화질소(NF3)는 상온에서 무색이며 물에 녹지 않고 녹는점은 -207°C, 끓는점은 129°C입니다. 마이크로전자 산업에서 고에너지 연료 및 플라즈마 에칭 가스로 사용할 수 있습니다.

무색 흄 액체 또는 가스 인 별칭 염화 붕소 인 삼염화 붕소 (BCI3)는 위험한 화학 물질에 속하며 벤젠, 이황화 탄소, 녹는점은 -107.3 ℃, 끓는점은 12.5 ℃이며 반도체 실리콘의 도핑 소스 일뿐만 아니라 유기 합성 촉매 등입니다. 삼염화 붕소는 인체에 해롭고 흡입, 경구 또는 피부 흡수를 통해 흡입 할 수 없으며 환경도 특정 위험입니다.

실험실 포장, 캐논 포장, 세타 (θ) 링 포장 등과 같은 실험실 증류 포장의 생산을 전문으로합니다. 특수 전자 가스 생산 및 고순도 특수 전자 가스 제조에 특히 적합하며, 캐논 패킹은 고순도 증류 산업에서 고순도와 고 수율의 이중 균형을 달성한다고 할 수 있습니다.

실험실용 고효율 패킹인 캐논패킹은 해외에서 시장이 넓게 형성되어 있습니다. 첨단 산업에서 산업용 가스의 적용이 심화됨에 따라 국내 시장에서도 특수 전자 가스 생산용 캐논 패킹은 유망한 미래를 열어갈 것입니다.