{"id":1863,"date":"2023-10-19T12:49:27","date_gmt":"2023-10-19T04:49:27","guid":{"rendered":"http:\/\/www3.laiko.net\/all\/honeycomb-monolith\/"},"modified":"2023-12-28T17:38:49","modified_gmt":"2023-12-28T09:38:49","slug":"honeycomb-monolith","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.laiko.net\/fr\/monolithe-en-nid-dabeille\/","title":{"rendered":"Monolithe en nid d'abeille"},"content":{"rendered":"
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Monolithe en nid d'abeille<\/h1>\n

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Monolithe en nid d'abeille, r\u00e9duction du co\u00fbt du contr\u00f4le des COV dans l'industrie des semi-conducteurs.<\/p>\n

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Un oxydateur thermique g\u00e9n\u00e9rateur (RTO) est l'un des \u00e9quipements standard utilis\u00e9s pour contr\u00f4ler l'\u00e9mission de compos\u00e9s organiques volatils (COV) dans l'industrie des semi-conducteurs. En fonctionnement normal, un RTO \u00e9limine les COV par des r\u00e9actions radicalaires en phase gazeuse d'oxydation homog\u00e8ne en CO2 et en eau \u00e0 une temp\u00e9rature comprise entre 1450\u00baF et 1600\u00baF. Monolithe en nid d'abeille<\/p>\n

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Un RTO utilise un \u00e9change de chaleur r\u00e9g\u00e9n\u00e9ratif dans deux ou plusieurs lits emball\u00e9s fonctionnant avec des inversions de flux p\u00e9riodiques. Les lits, remplis d'un m\u00e9dia c\u00e9ramique inerte, sont reli\u00e9s par une chambre de combustion dans laquelle un ou plusieurs br\u00fbleurs sont install\u00e9s pour le d\u00e9marrage du syst\u00e8me et pour maintenir la temp\u00e9rature n\u00e9cessaire \u00e0 de faibles concentrations de COV. L'air charg\u00e9 de COV entre dans l'oxydateur \u00e0 basse temp\u00e9rature et est chauff\u00e9 \u00e0 travers l'\u00e9changeur de chaleur avec les lits c\u00e9ramiques int\u00e9rieurs. Ce flux d'air r\u00e9agit ensuite dans la chambre de combustion et retourne aux lits de sortie, o\u00f9 il est absorb\u00e9 pour le cycle suivant. Lors de l'inversion du flux, les fonctions des lits changent de telle sorte qu'une grande partie de l'\u00e9nergie provenant de la combustion des COV et de l'allumage des br\u00fbleurs est r\u00e9g\u00e9n\u00e9r\u00e9e dans la fraction sup\u00e9rieure des lits.Une surface unique de mat\u00e9riaux c\u00e9ramiques permet d'obtenir un rendement thermique \u00e9lev\u00e9 pouvant atteindre 95 % dans les syst\u00e8mes bien con\u00e7us.<\/p>\n

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Malgr\u00e9 le degr\u00e9 \u00e9lev\u00e9 de r\u00e9g\u00e9n\u00e9ration de l'\u00e9nergie, les RTO peuvent encore n\u00e9cessiter une consommation de carburant \u00e9lev\u00e9e, en particulier en cas de d\u00e9bit d'air \u00e9lev\u00e9. Cela est particuli\u00e8rement vrai dans l'industrie des semi-conducteurs, o\u00f9 de grands volumes d'air \u00e0 faible concentration en COV sont la norme. Une alternative \u00e0 l'oxydation thermique est un processus catalytique qui se produit \u00e0 des temp\u00e9ratures plus basses - 600\u00b0F \u00e0 900\u00b0F. Le passage \u00e0 un oxydateur catalytique \u00e0 g\u00e9n\u00e9ration (RCO) permet de r\u00e9duire consid\u00e9rablement la consommation de carburant et, dans de nombreuses situations, l'investissement dans un catalyseur est amorti en tr\u00e8s peu de temps gr\u00e2ce aux \u00e9conomies de carburant.<\/p>\n

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Figure 1 : R\u00e9sultats des essais sur le catalyseur. Conditions d'essai : temp\u00e9rature du catalyseur de 750 \u00baF, 2500 ppm de propane et 50 ppm de Si(CH3)4 m\u00e9lang\u00e9s \u00e0 l'air dans le gaz d'entr\u00e9e.<\/p>\n

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\u00c9tude de cas sur les semi-conducteurs<\/p>\n

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Les figures 2a et 2b montrent les couches sup\u00e9rieures des supports c\u00e9ramiques avant le chargement du catalyseur en 2005. Figure 2a : Couche sup\u00e9rieure dans l'un des conteneurs<\/p>\n

Monolithe en nid d'abeille<\/p>\n

La conversion d'un RTO dans une grande usine de semi-conducteurs au Texas d\u00e9montre que certains d\u00e9fis en mati\u00e8re de contr\u00f4le des COV pour cette industrie peuvent \u00eatre surmont\u00e9s.<\/p>\n

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L'un des \u00e9l\u00e9ments cl\u00e9s de la technologie \u00e9tait un catalyseur r\u00e9sistant au silicium, capable de supporter l'empoisonnement par les compos\u00e9s organiques de silicium pr\u00e9sents dans les gaz d'\u00e9chappement. En outre, avant le chargement du catalyseur, l'installation a mis en \u0153uvre une s\u00e9rie de modifications dans l'enceinte et la distribution des gaz d'\u00e9chappement afin d'\u00e9liminer du flux trait\u00e9 les compos\u00e9s contenant du silicium qui font partie int\u00e9grante du traitement des semi-conducteurs. L'oxydateur catalytique a fonctionn\u00e9 pendant plus de quatre ans \u00e0 une temp\u00e9rature de 900\u00b0F \u00e0 950\u00b0F dans une chambre de combustion, alors que la temp\u00e9rature de fonctionnement d'origine \u00e9tait de 1500\u00b0F. La r\u00e9duction de la temp\u00e9rature a entra\u00een\u00e9 des \u00e9conomies de carburant substantielles. La modification de l'enceinte d'\u00e9chappement, combin\u00e9e \u00e0 la conversion du RTO en RCO, a \u00e9galement permis d'\u00e9viter le colmatage du lit par le silicium qui se produisait avant la conversion. Catalyseur r\u00e9sistant au silicium.<\/p>\n

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Bien que l'ajout de catalyseurs aux RTO soit une pratique accept\u00e9e depuis plusieurs ann\u00e9es, il ne s'agit pas d'une option viable pour l'industrie des semi-conducteurs. Les gaz d'\u00e9chappement des op\u00e9rations de fabrication de semi-conducteurs contiennent des compos\u00e9s silico-organiques tels que le xam\u00e9thyldisilazane (HMDS), couramment utilis\u00e9 dans la fabrication comme promoteur d'adh\u00e9sion \u00e0 la surface de la plaquette. Dans un RTO atypique, le MDS s'oxyderait dans la chambre de combustion et formerait des compos\u00e9s de SiO2. Ces particules dites \"de sable\" s'accumulent au fil du temps dans l'unit\u00e9 et provoquent le colmatage du m\u00e9dia c\u00e9ramique, la canalisation du flux d'air et l'augmentation de la chute de pression \u00e0 travers les lits (voir figure 2).<\/p>\n

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Figure 2b : Un monolithe unique, pris par le haut.<\/p>\n

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Monolithe en nid d'abeille<\/p>\n

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Dans un RCO, lorsqu'une mol\u00e9cule volatile contenant un ou plusieurs atomes de silicium r\u00e9agit avec la surface du catalyseur, une liaison pratiquement incassable est cr\u00e9\u00e9e entre le site actif de la surface et l'atome de silicium, ce qui inhibe toute activit\u00e9 catalytique de ce site. La d\u00e9sactivation par le silicium est appel\u00e9e masquage. Elle est particuli\u00e8rement n\u00e9faste pour les catalyseurs d'oxydation de COV \u00e0 base de m\u00e9taux platineux, qui contiennent relativement peu de sites catalytiques, bien que tr\u00e8s actifs. Un autre type de catalyseur, dit \"de transition\" ou \"\u00e0 base de m\u00e9tal\", contient un nombre de sites actifs sup\u00e9rieur de quelques ordres de grandeur et pr\u00e9sente donc une bonne opportunit\u00e9 pour le traitement des gaz charg\u00e9s de COV contenant du silicium.<\/p>\n

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Plusieurs catalyseurs \u00e0 base de m\u00e9taux communs ont \u00e9t\u00e9 synth\u00e9tis\u00e9s et test\u00e9s dans des r\u00e9actions simul\u00e9es d'oxydation de COV sous l'influence de substances organiques contenant du silicium. La figure 1 montre les d\u00e9pendances temporelles de l'activit\u00e9 du catalyseur lors de l'oxydation du propane en pr\u00e9sence de 50 ppm de t\u00e9tram\u00e9thylsilane. Les tests ont \u00e9t\u00e9 effectu\u00e9s dans un r\u00e9acteur de laboratoire avec un m\u00e9lange de gaz interne intense qui a permis d'obtenir les donn\u00e9es sur la vitesse de r\u00e9action. L'activit\u00e9 relative dans le tableau a \u00e9t\u00e9 calcul\u00e9e comme un rapport entre les taux d'oxydation en cours et initiaux. Deux \u00e9chantillons de catalyseurs \u00e0 base de m\u00e9taux nobles ont \u00e9t\u00e9 test\u00e9s en m\u00eame temps que les catalyseurs \u00e0 base de m\u00e9taux communs.<\/p>\n

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L'\u00e9chantillon 1 de la figure 1 repr\u00e9sente un catalyseur de m\u00e9taux nobles commun\u00e9ment enrob\u00e9 par lavage, dont les m\u00e9taux actifs sont r\u00e9partis sur une fine pellicule d'aluminium poreux d\u00e9pos\u00e9e sur un support c\u00e9ramique non poreux. Un autre catalyseur noble, l'\u00e9chantillon 2 de la figure 1, a \u00e9t\u00e9 obtenu par impr\u00e9gnation d'un support d'alumine tr\u00e8s poreux avec des solutions de m\u00e9taux nobles. Les catalyseurs \u00e0 base de m\u00e9taux test\u00e9s dans la figure 1 comprenaient des catalyseurs \u00e0 base d'oxyde de mangan\u00e8se et de chromite de cuivre, tous deux obtenus par extrusion grossi\u00e8re de m\u00e9langes d'hydroxyde d'aluminium et d'oxydes m\u00e9talliques de base, suivie d'un s\u00e9chage et d'un traitement thermique.<\/p>\n

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Bien que le catalyseur \u00e0 base de m\u00e9taux nobles impr\u00e9gn\u00e9 (\u00e9chantillon 2) pr\u00e9sente une plus grande stabilit\u00e9 que le catalyseur enrob\u00e9 par lavage (\u00e9chantillon 1), les deux catalyseurs \u00e0 base de m\u00e9taux nobles se d\u00e9sactivent tr\u00e8s rapidement par rapport aux catalyseurs m\u00e9talliques de base. Le catalyseur cuivre-chrome a montr\u00e9 le taux de d\u00e9sactivation le plus faible parmi tous les \u00e9chantillons test\u00e9s.<\/p>\n

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Outre les mesures du taux d'oxydation des COV, les essais comprenaient des mesures continues des concentrations de t\u00e9tram\u00e9thylsilane \u00e0 l'entr\u00e9e et \u00e0 la sortie, ce qui a permis de calculer l'accumulation de silicium sur le catalyseur. Le tableau 1 pr\u00e9sente les accumulations de silicium sur diff\u00e9rents \u00e9chantillons de catalyseurs, pour lesquels le taux de r\u00e9action de l'oxydation des COV a diminu\u00e9 de 30 % par rapport au taux initial. Cette diminution n'a pas \u00e9t\u00e9 consid\u00e9r\u00e9e comme importante car la vitesse de r\u00e9action pouvait \u00eatre augment\u00e9e \u00e0 nouveau jusqu'au niveau initial par une augmentation mod\u00e9r\u00e9e de la temp\u00e9rature.<\/p>\n

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Les catalyseurs \u00e0 base de m\u00e9taux communs peuvent pi\u00e9ger une quantit\u00e9 de silicium consid\u00e9rablement plus \u00e9lev\u00e9e que les m\u00e9taux nobles (voir la comparaison dans le tableau 1). Le catalyseur cuivre-chrome le plus r\u00e9sistant peut absorber 0,4 lb\/pi3 sans diminution substantielle de l'inactivit\u00e9. Les donn\u00e9es exp\u00e9rimentales similaires \u00e0 celles de la figure 1 ont \u00e9t\u00e9 utilis\u00e9es pour pr\u00e9dire les performances du catalyseur sur la base des informations relatives \u00e0 la concentration des substances organiques contenant du silicium dans le flux d'\u00e9chappement r\u00e9el.<\/p>\n

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Conception et installation de RTOretrofit<\/p>\n

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Dans la phase initiale du projet, il \u00e9tait entendu que le fonctionnement catalytique emp\u00eacherait le colmatage du lit en raison d'une temp\u00e9rature de fonctionnement plus basse. En outre, l'installation a d\u00e9ploy\u00e9 des efforts concert\u00e9s pour \u00e9liminer le HMDS du flux d'\u00e9chappement afin de minimiser la formation d'acide dans l'oxydateur. Il s'agit l\u00e0 d'une motivation suppl\u00e9mentaire pour la conversion au RTO. La dur\u00e9e de vie du catalyseur a \u00e9t\u00e9 estim\u00e9e \u00e0 quatre ou cinq ans, sur la base des propri\u00e9t\u00e9s du gaz de traitement et des essais du catalyseur.<\/p>\n

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Le catalyseur cuivre-chrome recommand\u00e9 pour le chargement dans le RTO, fourni par Matros Technologies Inc. \u00e0 Chesterfield (Mo.), a \u00e9t\u00e9 produit par extrusion et fa\u00e7onn\u00e9 en anneaux de Raschig (voir figure 3) d'un diam\u00e8tre et d'une longueur de 15 mm. Cette forme \u00e9tait compatible avec l'empaquetage monolithique \u00e0 des vitesses lin\u00e9aires appliqu\u00e9es dans le RTO. Il a \u00e9t\u00e9 d\u00e9termin\u00e9 que l'ajout du catalyseur n'augmenterait pas la perte de charge du lit, mais la diminuerait plut\u00f4t en raison de la r\u00e9duction du volume r\u00e9el d'air traversant le lit \u00e0 une temp\u00e9rature de fonctionnement plus basse. La r\u00e9duction de la perte de charge a contribu\u00e9 \u00e0 r\u00e9duire les co\u00fbts d'exploitation en dehors de la r\u00e9duction de la consommation de carburant.<\/p>\n

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Avant l'installation du catalyseur, la couche sup\u00e9rieure bouch\u00e9e des monolithes en c\u00e9ramique a \u00e9t\u00e9 enlev\u00e9e et le lit restant a \u00e9t\u00e9 nettoy\u00e9 par le haut dans chaque bo\u00eete RTO. Un support c\u00e9ramique en vrac a \u00e9t\u00e9 plac\u00e9 sur les 3 pieds de profondeur restants du monolithe. Le lit de catalyseur, \u00e0 une profondeur de 8 pouces, a \u00e9t\u00e9 plac\u00e9 au-dessus du support en vrac suppl\u00e9mentaire. En outre, une fine couche (3 \u00e0 4 pouces) de c\u00e9ramique a \u00e9t\u00e9 plac\u00e9e au-dessus du catalyseur pour le prot\u00e9ger de la chaleur rayonnante \u00e9mise par le br\u00fbleur.<\/p>\n

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Il a fallu deux jours pour charger les supports c\u00e9ramiques, les c\u00e9ramiques catalytiques et protectrices, et refermer les chambres de l'oxydant. Un thermocouple suppl\u00e9mentaire a \u00e9t\u00e9 install\u00e9 dans l'un des lits du catalyseur. La modification du syst\u00e8me de contr\u00f4le comprenait la r\u00e9duction de la temp\u00e9rature de consigne dans la chambre de combustion de 1500\u00b0F \u00e0 950\u00b0F, et le r\u00e9glage de la temp\u00e9rature de fonctionnement maximale autoris\u00e9e \u00e0 1200\u00b0F ; \u00e0 des temp\u00e9ratures sup\u00e9rieures \u00e0 1200\u00b0F, le catalyseur en cuivre et en chrome commen\u00e7ait \u00e0 se d\u00e9composer et l'action catalytique s'arr\u00eatait. L'oxydateur a \u00e9t\u00e9 chauff\u00e9 et mis en service deux jours apr\u00e8s le chargement du catalyseur.<\/p>\n

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Les br\u00fbleurs d'origine \u00e9taient con\u00e7us pour des temp\u00e9ratures \u00e9lev\u00e9es et devaient \u00eatre r\u00e9gl\u00e9s pour fonctionner \u00e0 des temp\u00e9ratures plus basses.<\/p>\n

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monolithe en nid d'abeille<\/p>\n

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Performance de l'unit\u00e9 modernis\u00e9e<\/p>\n

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Figure 3 : Catalyseur utilis\u00e9 pour la r\u00e9novation de la RTO<\/p>\n

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Une strat\u00e9gie d'exploitation g\u00e9n\u00e9rale pour le contr\u00f4le des oxydants peut impliquer une augmentation graduelle ou progressive de la temp\u00e9rature avec une augmentation de l'accumulation de silicone sur le catalyseur. La temp\u00e9rature plus \u00e9lev\u00e9e am\u00e9liore l'activit\u00e9 du catalyseur, r\u00e9duisant ainsi l'effet de l'empoisonnement au silicone. Une autre strat\u00e9gie consiste \u00e0 maintenir une temp\u00e9rature de fonctionnement fixe pendant la majeure partie de la dur\u00e9e de vie du catalyseur. Cette temp\u00e9rature est telle que le syst\u00e8me dispose d'une r\u00e9serve d'activit\u00e9 suffisante pour atteindre une efficacit\u00e9 de destruction \u00e9lev\u00e9e pendant que le catalyseur se d\u00e9sactive progressivement. L'activit\u00e9 du catalyseur est contr\u00f4l\u00e9e p\u00e9riodiquement (au moins une fois par an) \u00e0 l'aide d'essais sur des \u00e9chantillons de catalyseurs et d'essais d'\u00e9mission sur le terrain. Les r\u00e9sultats des tests d\u00e9terminent si la temp\u00e9rature doit \u00eatre augment\u00e9e pour compenser la d\u00e9sactivation continue du silicium. Des tests annuels r\u00e9guliers permettent \u00e0 l'\u00e9quipe d'exploitation de pr\u00e9voir le moment o\u00f9 le catalyseur devra \u00eatre remplac\u00e9. Lorsque le catalyseur commence \u00e0 perdre de son efficacit\u00e9, les temp\u00e9ratures de fonctionnement doivent \u00eatre augment\u00e9es pour am\u00e9liorer les taux d'action, et les co\u00fbts de carburant augmentent. Pour \u00e9viter des d\u00e9penses trop \u00e9lev\u00e9es, ou pour pr\u00e9venir une \u00e9ventuelle perte de r\u00e9sistance m\u00e9canique du lit due \u00e0 une temp\u00e9rature de fonctionnement \u00e9lev\u00e9e, le catalyseur doit \u00eatre remplac\u00e9.<\/p>\n

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Les premiers essais de performance de l'unit\u00e9 modernis\u00e9e ont montr\u00e9 que l'efficacit\u00e9 de l'\u00e9limination des COV \u00e9tait sup\u00e9rieure \u00e0 99 %, avec une chute de pression l\u00e9g\u00e8rement inf\u00e9rieure \u00e0 celle de l'unit\u00e9 d'origine. La concentration de m\u00e9thane a \u00e9t\u00e9 soustraite de la concentration des hydrocarbures totaux au cours des essais.<\/p>\n

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Le RTO modernis\u00e9 a fonctionn\u00e9 pendant environ quatre ans sans modification du point de consigne de la temp\u00e9rature et de la chute de pression. Le contr\u00f4le des performances a port\u00e9 sur les \u00e9missions de l'oxydant et sur l'activit\u00e9 du catalyseur. Le dernier essai sur le terrain a confirm\u00e9 les performances du syst\u00e8me avec une efficacit\u00e9 de destruction de plus de 97 %. Les tests d'activit\u00e9 du catalyseur ont montr\u00e9 une diminution mod\u00e9r\u00e9e de l'activit\u00e9, conform\u00e9ment \u00e0 l'accumulation de silicium et \u00e0 l'empoisonnement attendus.<\/p>\n

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La consommation r\u00e9elle de combustible dans les unit\u00e9s d'origine et r\u00e9am\u00e9nag\u00e9es a \u00e9t\u00e9 estim\u00e9e sur la base des temp\u00e9ratures mesur\u00e9es, des charges de COV et des d\u00e9bits. La m\u00e9thode d'estimation \u00e9tait bas\u00e9e sur un bilan thermique tenant compte de l'\u00e9nergie d\u00e9pens\u00e9e pour chauffer le gaz de traitement et l'air de combustion, ainsi que de la chaleur utile provenant de l'oxydation des COV. On a suppos\u00e9 que la quantit\u00e9 d'air de combustion et de combustible \u00e9tait \u00e9gale \u00e0 la diff\u00e9rence entre les d\u00e9bits de gaz de sortie et d'entr\u00e9e. L'estimation a montr\u00e9 que le RTO modernis\u00e9 r\u00e9duisait la consommation totale de carburant de deux tiers, soit jusqu'\u00e0 15 000 MCF par an. Le syst\u00e8me a \u00e9galement permis de r\u00e9duire sensiblement les co\u00fbts de mat\u00e9riel et de main-d'\u0153uvre li\u00e9s au remplacement et \u00e0 l'\u00e9limination fr\u00e9quents du lit de c\u00e9ramique.<\/p>\n

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L'installation du catalyseur a permis de combiner la basse temp\u00e9rature de l'oxydation catalytique avec l'efficacit\u00e9 thermique \u00e9lev\u00e9e de l'\u00e9change de chaleur r\u00e9g\u00e9n\u00e9ratif. Ces changements ont eu trois effets b\u00e9n\u00e9fiques sur l'environnement :<\/p>\n

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1. En raison de la temp\u00e9rature d'oxydation beaucoup plus basse, de 700\u00b0F \u00e0 900\u00b0F, le RCO fonctionne en utilisant 50 \u00e0 60 % de combustible en moins et g\u00e9n\u00e8re 40 % de NOX en moins.<\/p>\n

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2. En raison de la nature du catalyseur, il en r\u00e9sulte un emballage plus r\u00e9sistant au HMDS, ce qui permet de maintenir une efficacit\u00e9 de destruction \u00e9lev\u00e9e beaucoup plus longtemps, d'am\u00e9liorer la r\u00e9cup\u00e9ration de l'\u00e9nergie et de r\u00e9duire les \u00e9missions de CO2.<\/p>\n

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3. Une r\u00e9duction du volume des mat\u00e9riaux d'emballage \u00e0 \u00e9liminer.Monolithe en nid d'abeille<\/p>\n

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Les meilleurs r\u00e9sultats et les p\u00e9riodes d'exploitation les plus longues ont \u00e9t\u00e9 obtenus gr\u00e2ce \u00e0 la r\u00e9duction des compos\u00e9s contenant du silicium dans le flux de COV. La le\u00e7on \u00e0 retenir : il faut tout mettre en \u0153uvre pour minimiser ou \u00e9liminer les HMDS et pour maintenir les rendements d'exploitation les plus \u00e9lev\u00e9s dans tout syst\u00e8me d'oxydation thermique. PE<\/p>\n

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John D. Miller<\/p>\n

j-miller4@ti.com<\/p>\n

JohnD.Miller est chef de projet chez Texas Instruments Inc. \u00e0 Dallas. Il peut \u00eatre contact\u00e9 par courrier \u00e9lectronique \u00e0 l'adresse j-miller4@ti.com ou par t\u00e9l\u00e9phone au (214) 882-4166.<\/p>\n

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TinaGilliland<\/p>\n

t-gilliland@ti.com<\/p>\n

Tina Gillilandis Air-permitting manager at TexasInstruments;e-mailt-gilliland@ti.comor call (972)927-3022.<\/p>\n

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Grigori.Bunimovich<\/p>\n

grigorii@matrostech.com<\/p>\n

Grigori Bunimovich est directeur des applications catalytiques chez MatrosTechnologies Inc. \u00e0 Chesterfield (Mo.) ; e-mailgrigorii@matrostech.comor (314) 439-9921.<\/p>\n

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YuriiSh.Matros<\/p>\n

yurii@matrostech.com<\/p>\n

Yurii Sh. Matros est pr\u00e9sident de Matros TechnologiesInc. e-mail:yurii@matrostech.com ou par t\u00e9l\u00e9phone au 314-439-9699.\u00a0<\/p>\n

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Honeycomb Monolith Honeycomb Monolith, Reducingthecost of VOC control in the semiconductor industry. Theregenerativethermaloxidizer(RTO)is one of the standard pieces of equipment used to control theemissionofvolatileorganic compounds(VOCs) inthesemiconductorindustry.In normal operation, anRTOremovesVOCsusinggas-phase free-radicalreactionsofhomogeneousoxidationtoCO2 andwaterat1450\u00baFto1600\u00baF.Honeycomb Monolith An RTO uses a regenerative heat exchangeintwoormorepackedbedsoperated with periodic flow reversals. The beds,filledwithaninert ceramic media, areconnectedbyacombustionchamberwhereone or more fuel burnersareinstalledforsystemstartup, and to maintain […]<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_seopress_robots_primary_cat":"","_monsterinsights_skip_tracking":false,"_monsterinsights_sitenote_active":false,"_monsterinsights_sitenote_note":"","_monsterinsights_sitenote_category":0,"_joinchat":[],"footnotes":""},"categories":[1,216],"tags":[],"class_list":["post-1863","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-all","category-company-news"],"blocksy_meta":"","featured_image_urls":{"full":"","thumbnail":"","medium":"","medium_large":"","large":"","1536x1536":"","2048x2048":"","trp-custom-language-flag":"","woocommerce_thumbnail":"","woocommerce_single":"","woocommerce_gallery_thumbnail":""},"post_excerpt_stackable":"

Honeycomb Monolith Honeycomb Monolith, Reducingthecost of VOC control in the semiconductor industry. Theregenerativethermaloxidizer(RTO)is one of the standard pieces of equipment used to control theemissionofvolatileorganic compounds(VOCs) inthesemiconductorindustry.In normal operation, anRTOremovesVOCsusinggas-phase free-radicalreactionsofhomogeneousoxidationtoCO2 andwaterat1450\u00baFto1600\u00baF.Honeycomb Monolith An RTO uses a regenerative heat exchangeintwoormorepackedbedsoperated with periodic flow reversals. The beds,filledwithaninert ceramic media, areconnectedbyacombustionchamberwhereone or more fuel burnersareinstalledforsystemstartup, and to maintain necessarytemperatureatlowconcentrationsof VOCs.The TheVOC-laden air enters theoxidizeratlowtemperature andisheatedthrough the heat exchangerwiththeinletceramic beds. This airstream then reacts inthecombustionchamberand returnsheattothe outlet beds, where it is absorbed for the next cycle. Uponflowreversal, the bedfunctionschange suchthatasubstantialfractionof energy from VOCcombustionandburnerfiringisregenerated in the upper fraction of the beds.Amplesurfaceareaofceramicmaterial results in highthermalefficiencyachievingupto95percent in\u2026<\/p>\n","category_list":"All<\/a>, Company News<\/a>","author_info":{"name":"adminn","url":"https:\/\/www.laiko.net\/fr\/author\/adminn\/"},"comments_num":"0 commentaire","_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.laiko.net\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1863","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.laiko.net\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.laiko.net\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.laiko.net\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.laiko.net\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=1863"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.laiko.net\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1863\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":2138,"href":"https:\/\/www.laiko.net\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1863\/revisions\/2138"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.laiko.net\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=1863"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.laiko.net\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=1863"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.laiko.net\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=1863"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}